用途:用于各類智能設(shè)備VCM模組的氣密測試
配置:單臺(tái)設(shè)備搭配2臺(tái)治具,單治具6個(gè)穴,總共12個(gè)穴
并行測試:12個(gè)測試穴位同時(shí)測試,實(shí)現(xiàn)更高的UPH
UPH: 3000(測試時(shí)間7S)
特征:
測試壓力:0.15bar
測試規(guī)格:0.4sccm
測試時(shí)間:7s(3s FILL + 0.5s STA + 3s TEST + 0.5s DUMP)
自動(dòng)模式:生產(chǎn)、AAB Retest、GRR、Audit
測試儀器:CTS、ATEQ ……
兼容性:更換治具和產(chǎn)品相關(guān),可快速切換不同產(chǎn)品測試
自動(dòng)點(diǎn)檢功能,確保測試系統(tǒng)長期穩(wěn)定性